产品详情

PRODUCT DETAILS

FE-2050T
FE-2050T

产品特点

01

超高分辨能力 


旗舰级场发射电子光学镜筒

最高分辨能力可达1.2nm@1kV,0.7nm@15kV

02

镜筒内减速  


配备镜筒内减速技术,可以提供低至50eV的超低能量超高分辨成像能力,轻松观察样品极表面细节

绝缘样品、不耐辐照样品、磁性样品均可观测

03

多模式一键切换  


三物镜结构提供更加灵活多变的物镜组合模式,无需改变工作距离即可一键切换超大视野、超大景深、超高分辨、超大束流等多种观测模式


成像图

FE-2050T

湿法隔膜(800eV)

FE-2050T

光刻胶(2keV)

FE-2050T

分子筛(500eV)

FE-2050T

Co基合金(磁性样品)

FE-2050T

Al2O3颗粒(1keV)

FE-2050T

纳米Fe3O4粉末(2keV)

关键技术

镜筒内减速技术

搭载镜筒内减速技术,在极低着陆电压下(<1KV时)仍可以有效控制相差,提供超高分辨成像水平。

FE-2050T

"三物镜"技术

物镜系统由两组磁透镜和一组电透镜组成,三组物镜均可独立控制并任意组合以聚焦电子束;三种物镜的灵活组合可以应对更加多样的观测场景,用户在不改变工作距离的前提下即可实现一键全自动切换超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式。

全电压段多路成像

标配Inlens-SE、BSE、ET-SE三种电子探测器,这些探测器在全电压段(0-30kV)均可同时成像,最大程度为高分辨形貌观察、成分分析提供便利。

FE-2050T


产品参数

型号
FE-2050T
系列
电子枪高亮度肖特基电子枪
镜筒技术镜筒内减速技术;“三物镜”技术(双组磁透镜,单组电透镜)
分辨率 高真空0.7nm@15KV;1.2nm@1kV;1.5nm@500V
 低真空2nm@15kV
最低可成像电压50V
束流1pA-400nA,连续可调
最大视野80mm  
附件拓展
聚集离子束 Ga离子源/氙离子源或三方离子源
阴极荧单色探测器/3波段探测器或第三方
原位拉曼仪一体式或分体式(抗震波纹管连接)
原位飞行质谱与聚焦离子束联用  
原位拉伸台冷热/拉伸/疲劳测试
真空冷冻系统兼容主流方案  
三维EBSD样品微区原位重构
 三维EDS样品微区原位重构 

产品应用

PRODUCT APPLICATION

材料科学
材料科学
电子半导体
电子半导体
材料科学
电子半导体
FE-2050T
FE-2050T