镜筒内电子束减速技术

搭载镜筒内减速技术，在极低着陆电压下仍可以有效控制像差，提供超高分辨成像水平。

"三物镜"技术

物镜系统由两组磁透镜和一组静电透镜组成，三组物镜均可独立控制并任意组合以聚焦电子束；三种物镜的灵活组合可以应对更加多样的观测场景，用户在不改变工作距离的前提下即可实现一键全自动切换超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式。

MD多功能能量选择探测器

可同时收集SE、中角度BSE信号，生成同时展示形貌衬度与成分衬度、突出样品表面轮廓的图像；能量滤波网格设计，SE信号、BSE信号（<4000eV）可被滤掉，增强样品表面特征的BSE衬度。