1.检查机械泵的油量

通过机械泵的玻璃窗口检查油量。最少油量在玻璃窗底端边缘 MIN 处，最大油量在 顶端边缘 MAX 处，使用过程中油量会消耗。当油量接近玻璃窗油量指示 MIN 处时，应及 时添加专用的机械泵油。

添加机械泵油时，首先应卸载真空，然后整机断电。拧下机械泵上的油嘴，用漏斗 注入机械泵油，同时观察油量的位置。达到最佳位置时，停止注油，并将机械泵上的油 嘴拧紧。

2.检查空压机状态

空压机主要用来给设备各个阀门供气，使阀门正常关闭或者打开。空压机安装在主 机真空系统外，需定期手动排水。使用时严格保证阀门压力在0.6-0.7 Mpa。

3.氮气罐使用注意事项

氮气罐输出压力调节至0.1 MPa，主机左下方“氮气压力表 ”指示在绿区范围内。 氮气压力切勿过大，否则可能导致能谱破窗，以及气管破裂，造成不必要的损失。

4.更换灯丝注意事项

灯丝更换前，保证室内灰尘沉降 1-2 小时。

严格按照更换灯丝需要的注意事项，需戴好无尘手套，更换灯丝前需酒精擦拭外罩， 清洁掉外罩的灰尘，避免灰尘进入电子枪室内，造成镜筒污染，打火等情况，或导致高 压电源的不可逆损伤。

5.高压电源维护

更换灯丝后，首次加高压及灯丝束流时缓慢增加，确保输入电压稳定。

6.清洁保养

如果样品仓内有残余样品掉落，及时取出，以免造成分子泵、机械泵的损坏。

设备外观需要定期清理卫生，建议用手持式吸尘器进行清理。

如果遇到顽固性污渍，可以用无毛布沾少量酒精进行清洁（注意：一定要少量，容 易导致设备掉漆）。

避免仪器周围有大的震动或强磁场，保证实验室干净、干燥，避免阳光照射。

7.仪器使用频率低维护

机器长时间处于省电状态。建议每两周将机器系统抽至高真空状态，然后开省电模 式，使扫描电镜保持在维护、保养的最佳状态。

8.长期停放时的维护、保养

如果长时间不使用扫描电镜，建议整机断电并用防尘罩，罩上主机，防止灰尘污染。