人眼的分辨率大约为0.2毫米，如果想要探索微观世界，仅依靠人眼是远远不够的，还需借助具有放大功能的显微镜才能更好地观察到细微的细节。顺应时代的潮流，sem扫描电镜应运而生，本文就来详细介绍sem扫描电镜工作原理以及构造有哪些。

一、原理

1、二次电子

它是入射电子所激发的样品原子外层电子，能量比较低，只在样品表面才有电子从表面逃逸，因此对试样表面的状态很敏感，常用来观察表面形貌。因为弥散范围呈泪滴状，并不会出现明显的弥散，所以使其具有较高空间分辨率。

2、背散射电子

即被固体样品中的原子核反弹回来的一部分电子，产生的范围达到100~1000纳米深度。一般其产额可随着样品原子序数增加而有所提高，能用来定性分析样品组成。

3、特征X射线

它是指内层电子受到激发后，在能级跃迁过程中直接释放出来的电磁波辐射，具有特征能量和波长，一般在试样的500纳米到5毫米深处发出。

二、构造

1、电子光学系统

该系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和试样室。从电子枪中发射出的高能电子束，经过两级电磁透镜的聚焦会聚形成几纳米大的束斑，再被线圈偏转，对物品表面和屏幕进行同步扫描，从而激发出各种信号。

2、显示系统

电子束在试样室内作用于表面所激发出来的电子，首先击中探测器内闪烁体而发出光源，再通过光电倍增管把光信号转换成电信号，然后经前置放大器进一步变成功率充足的输出信号，在阴极射线管上形成放大像。

3、真空系统

得益于高真空度的优势，能减少电子的能量损失，降低光路污染，从而提高灯丝的寿命。根据扫描电镜类型不同，比如钨灯丝、六硼化镧等，所需的真空度也存在着差异，一般在10-3~10-8Pa。

4、计算机系统

每一台仪器均有一套完整的计算机控制系统，方便测试人员对电镜进行控制和操作。

总的来说，sem扫描电镜是一款强大的测试工具，对样品微区结构的观察和分析具有简单、易行等特点。其综合分析能力比较强，可以对样品做翻转和倾斜等操作，能观察样品的各个部位。其次，也能在此设备上配置相应附件，实时观察样品的加热、冷却和拉伸等操作是否会影响其形态。‍