场发射电子显微镜（FE-EM）是一种利用场发射源产生电子束的高分辨率显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和电子工业等领域。虽然在市场上有不少产品可选择，但现在常见的电镜有两类。本文主要介绍常见的两类场发射电镜。

按照温度可分为以下两类：

1、冷场发射扫描电镜

这类电镜可用于观察和分析需要在低温环境下进行的样品。低温场发射电镜通常具有特殊的样品冷却系统，可以将样品冷却到极低的温度，甚至接近液氮温度。这种低温环境可以减少样品的蒸发和变形，提高成像质量和分析精度。其优点是电子束直径小、亮度高，因此影像分辨率高。而缺点是发射电流不稳定、发射总电流小。

冷场发射扫描电镜主要应用于生物科学、高分子材料和半导体材料等领域。例如在生物科学领域，其可用于观察和研究生物大分子的形态、结构和功能。而在半导体材料领域，用于分析半导体材料的表面形貌和缺陷，从而可优化器件性能和制造工艺。

2、热场发射扫描电镜

这类电镜可在1800K温度下进行操作，可避免气体分子吸附在针尖表面。其采用的是热阴极发射电子的方式，使用钨丝作为阴极。通过电场加热钨丝，使其发射出电子束。虽然亮度和冷式相类似，但其电子能量散布却比冷式大3~5倍，因此影像分辨率较差，通常较不常使用。

热场发射扫描电镜主要应用于材料科学、生命科学和电子工业等领域，可用于观察和分析材料的表面形貌、纳米结构、晶体结构和化学成分等。

场发射电镜主要可分为冷场和热场发射扫描电镜。相比之下，前者使用频率更高，适用于大部分常见样品的观察和分析。即便如此，在使用时也要根据样品和研究需求来选择，这样才能更好地进行分析和研究。